光學(xué)冷熱臺各組成部件所起到的作用分享

　　光學(xué)冷熱臺主要使用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜、高速器件的精細電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)工夫和器件制造工藝成本。
 

　　下面小編要與大家分享的是光學(xué)冷熱臺各組成部件所起到的作用：
 

　　1、樣品臺(載物臺)：是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會(huì )依據晶圓的尺寸來(lái)設計大小，并配套了相應的精細挪動(dòng)定位功用。
 

　　2、光學(xué)元件：這個(gè)部件的作用使得用戶(hù)可以從視覺(jué)上縮小察看待測物，以便準確地將探針對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點(diǎn)上。有的采用平面變焦顯微鏡，有的采用數碼相機，或許兩者兼有。
 

　　3、探針(探針卡)：待測芯片需求測試探針的銜接，才干與測試儀器樹(shù)立銜接。罕見(jiàn)的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭拔出單個(gè)探針臂并裝置在操縱器上。探針尺寸和資料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類(lèi)型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應與探針尖婚配。
 

　　4、射頻探針：射頻探針的實(shí)質(zhì)為適配器，將芯片測量接口轉為同軸或波導端口。罕見(jiàn)的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數有高工作頻率、探針針尖距(Pitch)等。目前，同軸接口的射頻探針頻率可達110GHz(MPI目前適配安利的擴頻模塊可到220G)波導接口的射頻探針頻率高達1.1THz，有一些型號的探針可以選配BiasTee。
 

　　5、校準：微波射頻在片測試的校準次要是指S參數校準，可以經(jīng)過(guò)運用校準片完成校準。普通的校準片提供開(kāi)路(Open)、短路(Short)、婚配(Match)、直通(Through)和延遲線(xiàn)(Line)標準件，可完成TOSM校準或TRL校準或SOLT或SOLR或LRM等。
 

　　6、操縱器(定位器)：探針臺運用操縱器將探針?lè )胖迷诒粶y物上，它可以很容易地定位探針并疾速固定它們。通常運用磁鐵或真空把它們固定在適當的地位。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針，并且在某些狀況下提供旋轉運動(dòng)。
 

　　7、網(wǎng)絡(luò )分析儀：雖然傳統網(wǎng)絡(luò )分析儀也能無(wú)效地測量有源器件，例如放大器、混頻器和轉換器，但它們不能提供以后研發(fā)和消費工程師所盼望的精度、易用性和速度。而這些功用關(guān)于無(wú)線(xiàn)通信行業(yè)來(lái)說(shuō)至關(guān)重要—在這些行業(yè)中，產(chǎn)品速度往往可以決議一家公司的成敗。